Hochspannungs SMU
Als Source and Measurement Units (SMU) werden Geräte bezeichnet, die Spannungen oder Ströme erzeugen und über die integrierten Messeinheiten (VMU, CMU) gleichzeitig messen können.
Hochspannungs SMUs arbeiten als geregelte Spannungsquelle und sind in der Lage sehr hohe Ausgangsspannungen zu erzeugen.
- Ausgangsspannungen bis 2,5 kV (<30 mA im Pulsbetrieb)
- Auflösung Strommessung <1 pA
- Einstellbare Slew-Rate von 10 V/ms bis 1000 V/ms